誘導結合プラズマ質量分析−ICP−MSは、周期表上のほぼすべての元素を迅速かつ同時に検出する新しい無機元素と同位体分析技術である。ICP−MS技術は分析能力において、誘導結合プラズマ分光技術（ICPAES）、黒鉛炉原子吸収（GFAAS）、水銀冷原子吸収技術（CVAAS）などの従来の無機分析技術の総和を上回り、現代分析技術の最もエキサイティングな発展と呼ばれている。

Agilent ICP-MS技術の応用分野は以下を含む：
●水道水、地表水、地下水、海水及び各種土壌、廃棄物等の分析を含む環境サンプル分析、
●半導体材料分析
●ガラス、陶磁器、鉱冶などのサンプル分析、
●地質学的研究、
●生物食品及び医薬の臨床研究、
●核材料分析
●石油化学工業サンプル分析、
●法医の応用と研究
●最近、分離技術と併用して環境毒性、生命科学などの分野の元素の価格状態、形態分析がICP-MS技術の応用の焦点となっている。
ICP-MS解析特性：
●周期表上のほぼすべての要素を迅速に同時に検出できる
●最低の検出限界（ppqレベルまで低い）
●分析効果/コスト比が最適
●最も広い線形ダイナミックレンジ：ppqから数百ppmまでの濃度を直接検出可能
●スペクトル線が最も簡単で、干渉が最小で、精度と精度が良い
●必要試料量が低く（ul〜ml）、分析速度が速い（1〜3分／試料）
●検出パターンが柔軟で多様
半導体工業用常用材料における超微量汚染物質の分析：
固体：Si、GaAa単結晶スライス、石英、炭化ケイ素などの炉材料、高純度金属電極等
液体：超純水、HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;アンモニア水等
ガス：SiH 4、TE0S;NF3;N 2等
Agilent ICP-MSは有機サンプルを直接分析することができる：
Agilent ICP−MSの高効率エネルギー、高出力遮蔽モーメント冷プラズマ技術は、一連の有機試料のppt級微量汚染元素を測定するために使用されている。
・いくつかのサンプルについて、他の方法では満足できる結果が得られず、高出力遮蔽モーメント冷プラズマ技術が唯一の分析方法である。
●強アルカリ性洗浄剤——テトラメチル水酸化アンモニア（TMAH）など
●常用有機溶媒――トルエン、キシレン、IPAなど
●高マトリックスサンプル――レジスト、液晶、BPS、PSGなどの揮発性の非常に強い洗浄剤――アセトン、メタノールなど。