分子ポンプユニットを真空管式炉に応用
科学研究機関は一般的に真空管式炉による元素分析測定と一般的な小型鋼部品の焼入れ、焼鈍、焼戻し、電子セラミックスなどの新材料の加熱を行う。真空管式炉は抵抗線を加熱素子とし、単層、二層又は多層のシェル構造を採用する、特に雰囲気保護又は真空環境下でサンプルをアニール及び焼結するのに適している.
真空管式炉は大学、科学研究院所、工鉱企業が高温雰囲気焼結を行い、雰囲気が還元され、CVD実験、真空アニール応用の理想的な製品。真空度は一般的に10-2 Torrである、メカニカルポンプを使用すれば満足できる.しかし、高真空環境下で行う用途もある、真空度は10-5 Torrが要求され、ドイツPfeiffer分子ポンプ群の使用が推奨.
ドイツ.Pfeiffer分子ポンプユニットHicube 80 Ecoはい管式炉真空システムの完全な配置!
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分子ポンプユニット全体のモジュール化設計、内部にダイヤフラムポンプと分子ポンプを集積し、「プラグアンドプレイ」、 |
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