TEM、SEM及びLMのサンプル製造に適している

Leica EM RES 102は、2つのサドル場イオン源を備えたユニークなイオンビーム研磨装置であり、イオンビームエネルギーを調整して最適なイオン研磨結果を得ることができる。

この独立したデスクトップ型デバイスはTEM、SEM、LMサンプルの製造機能を一体化しており、これは市販の他のデバイスとは全く異なる。高エネルギーイオン研磨を除く

機能に加えて、徂徠カードEM RES 102は、低エネルギーで極めて温和なイオンビーム研磨プロセスにも使用することができる。

›片面または両面イオンビーム研磨は材料のイオンビーム薄化プロセスに適している。サドル場イオン源は大きな電子ビーム透明薄領域を得ることができる。

›プログラム化制御されたイオン入射角度の変化は、非晶質アモルファス層を減少させるためにFIBサンプルのような特別なサンプル製造目的を達成するのに適している。

イオンビーム研磨の最大研磨領域は25 mmに達することができる。

イオンビーム洗浄は、サンプル表面汚染層または機械研磨後の表面に発生した塗布層を洗浄するのに適している。

›試料の表面ライニング増強作用は、化学エッチング作用に代わることができる。

›35°ランプ切断多層試料の製造のための断面。

›90°ランプ切断は、複合構造体の半導体サンプルまたは組立デバイスを製造するために使用され、この方法で必要な機械的前加工作業は最小限である。

-選択内容

多様なアプリケーションニーズをサポートするために、Leica EM RES 102はTEM、SEM、LMサンプルの製造に適したさまざまなサンプルテーブルを組み立てることができる。プレサクションチャンバ

システムはサンプルの迅速な交換を実現し、サンプル交換効率を効果的に高めることができる。

このサンプルテーブルはSEMとLMサンプルのイオンビーム洗浄、研磨、ライニングの強化に適しており、周囲温度またはLN 2冷却下で使用することができる。SEMサンプルテーブル

最大サイズ25 mmまでのサンプルを作製することができる。アダプタは、市販されている3.1 mm直径のピン付きSEMサンプルホルダーを把持するために使用されます。

ランプカット試料台は、試料をカットして縦断面（90°）または斜断面（35°）を得るのに適しており、SEMが試料内部の縦方向構造を観察するのに便利であり、周囲温度またはLN 2冷却下で使用することができる。SEM clamp holder to hold small sampleswith maximal dimensions of 5(H) x 7(W) x2(T)mm.This holder can be easily transferredto the SEM without removing the sample.TEM Sample Holder (Quick ClampHolder)for single and double-sided low angle millingdown to 4°.

シートサンプルテーブルは、最大寸法が5（H）×7（W）×2（D）mmのサンプルを挟持するために使用される。このサンプルテーブルは、サンプルを取り出す必要なく、SEM中に容易に直接転送することができる

品物。

TEMサンプルクリップは片面または両面イオンビームの薄化に使用され、薄化角度は4°まで低くすることができる。

TEM冷凍サンプル治具はLN 2冷凍装置と併用され、温度感受性サンプルを製造するために使用される。

FIB洗浄サンプルテーブルはFIBサンプルを洗浄するために使用され、表面の非晶質アモルファス層を減少させる。

Leica EM RES 102は、サンプルに対してイオンビームの薄型化、クリーニング、断面カット、研磨、ライニングの強化を行うことができ、アプリケーションのニーズの多様化と利便性を大幅に満たすことができます。

›19”タッチスクリーンコンピュータ制御ユニット、製本プロセスを監視し記録する

›組み込みアプリケーションパラメータライブラリ

›プログラム化サンプリングパラメータ設定、初心者学習曲線の加速

›初心者のためのファイルのヘルプとデバイスのメンテナンス

コストの効率化/削減

›TEM，SEMとLMの応用機能を一体化する

›TEMサンプルの調製で得られた薄い領域は大きく、有効にTEMサンプルの調製効率を高めた

›SEM試料の調製最大25 mm試料直径

›プレ抽気室システムは迅速なサンプル交換を助け、待ち時間を減少し、サンプル室の持続的な高真空を保証する

›ローカルエリアネットワーク機能は遠隔操作に便利である

›LN 2試料台により、温度感受性試料を最適化条件下でイオン研磨できる

安全

›光終端または透明試料のファラデーカップ終端に適した正確な自動終端機能

›サンプリング中にライブ画像やビデオを常時保存することができる

›イオン源と試料運動モータの駆動、プログラム化制御、従って繰り返しサンプリング結果を得ることができる