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製品の詳細
Pfeiffer普発磁気浮上タービン分子ポンプATH 1600-3200 M、ATP 2300M
上海伯東ドイツPfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプATH 1600-3200M, ATP 2300M: 排気量1400 ~ 2800 l/sのリニアモーターカーターボ分子ポンプ・ATHシリーズリニアモーターカーぶんしポンプ5軸磁気軸受監視システムとリアルタイムの回転子変位自動補正機能を持ち、長時間の安定性と信頼性を確保し、同時に運転時も非常に静かである。リニアモーターカーターボ分子ポンプATHシリーズは半導体、めっき膜、イオンエッチングなどの業界に広く応用されている。
Pfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプ ATH 1600-3200M,ATP 2300M 利点
1.清潔で油がなく、大抽気速度
2.メンテナンスフリー低コストメンテナンス費用
3. ターボ分子ポンプ非常に低い騒音と振動
4.任意の角度で取り付け可能
P
feifferリニアモーターカーターボ分子ポンプ ATH 1600-3200M,ATP 2300M 技術パラメータ
|
分子ポンプモデル |
分子ポンプ接続寸法DN |
抽気速度l/s |
あっしゅくひ |
最高起動圧力hPa |
きょくげんあつりょく |
全回転数ガス流量hPal/s |
起動時間 |
じゅうりょう |
|||
|
くうきいりぐち |
はいきぐち |
ちっそガス |
ヘリウムHe |
水素ガス2 |
ちっそガス |
窒素ガスN2 |
hPa |
窒素ガスN2 |
min |
kg |
|
|
ATH 1603 M ATH 1600 MT |
250 |
40 |
1,400 |
970 |
540 |
> 1X108 |
1.7 |
< 6X10–9 |
67 |
6 |
42 |
|
ATH 2303 M ATH 2300 MT |
250 |
40 |
2,150 |
1,800 |
1,100 |
> 1X108 |
2.9 |
< 6X10–9 |
67 |
8 |
68 |
|
ATH 2800 M ATH 2800 MT |
250 |
40 |
2,200 |
2,400 |
1,550 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
ATH 3200 M ATH 3200 MT |
320 |
40 |
2,800 |
2,500 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
ATP 2300 M |
320 |
40 |
1,950 |
2,050 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
37 |
8 |
60 |
MTタイプの分子ポンプは集積加熱帯を備えており、温度制御が可能である。自己加熱系と水冷系の同時作用により、ポンプの動作温度を相対的に一定(最高動作温度75°C)に保つことができ、同時にプロセス化学物または副生成物のポンプ体内での凝縮による堆積を最小化することができる.
上海伯東Pfeifferターボ分子ポンプ抽気速度範囲は10〜2700 L／S、回転速度は最高90000 rpm、限界真空は最大1 E−11 mbarであり、小分子ガスに対してより高い圧縮比を有し、実践によりPfeifferターボ分子ポンプ運行時間は100000時間に達することができます！普発分子ポンプ複合軸受を提供するぶんしポンプおよび5軸全磁気浮上ぶんしポンプ二大シリーズは異なる応用を満たし、組み合わせを推薦するPfeifferロータポンプとかんそうポンプ共同使用分子ポンプの典型的な応用を推薦する>>
詳細については、ぶんしポンプ詳細は、以下の連絡先を参照してください
上海伯東：葉さん台湾伯東：王さん
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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