工業顕微鏡ECLIPSE LV 150 NAとLV 150 N(純反射型)
この一連の半導体顕微鏡は純反射照明を採用し、支持する鏡検査方式は:明場、暗場、微分干渉、偏光、蛍光、二光束干渉、デジタルカメラを搭載でき、半導体、集積回路及びその他の各種材料の検査に常用される。
モジュラー設計、電動タイプと手動タイプがある
ニコンCFI 60-2光学系設計を採用し、イメージングがはっきりしている、デジタルカメラを組み合わせて写真を撮ることができます。モジュール化された設計で、さまざまな機能拡張に対応しやすい。
ニコンECLIPSE LV 150 NAとLV 150 N
主に半導体、工業材料、部品検査、製品開発に用いられる。

ニコンCFI 60-2光学系対物レンズ
ニコンの革新的な設計は、明瞭で高コントラストを実現する明場、暗場、蛍光、偏光(POL)、微分干渉(DIC)鏡検査、及び二光束干渉測定をサポートする。

ニコンDigital Sightデジタルカメラ
ニコンのデジタルカメラ全シリーズは効率的に写真を撮ることができ、LV-ECONを通じて現在の対物レンズ、倍率変換設定、照明光輝度などのパラメータをNIS-Elements顕微鏡画像処理ソフトウェアに転送することができます。

LV 150 NとNWL 200を併用
半導体業界で広く認められ信頼され、現在多くの装置が使用されている。

製品の特長
マルチミラー方式
反射照明選択可能なミラー検査方式は、明視野、暗場、偏光(POL)と微分干渉(DIC)、蛍光と二光束干渉である。

複数部品
ユーザーが選択できる部品は複数あります。
ステージ、対物レンズ、対物レンズ変換器、接眼レンズ、接眼鏡筒、デジタルカメラ、フィルター、偏光板など。

デジタルインテリジェント通信
LV 150 NAとLV 150 NはニコンのNIS-Elementsソフトウェアを通じて、そしてLV-ECON Eコントローラを通じて電動対物レンズ変換、絞り動作、照明輝度、電動焦点調整などを操作することができる。
LV 150 NはLV-NU 5 IとLV-INADで使用されている対物レンズを検査、報告することができます。

人間工学設計
傾斜角調整可能な接眼鏡筒を使用することで、操作者はより快適にサンプルを観察し、疲労を解消することができる。
主に原材料、半導体、工業部品の観察に用いられる。

コア機能





材料と半導体検査
応用例としては、半導体基板とデバイスパッケージ、フラットパネルディスプレイ(FPD)、電子部品、革新的な材料があり、必要に応じて合理的なミラー検査方式を選択することができる。
サイズ

| LV150N の | LV150NA の | |
| ホスト: | 最大サンプル高さ:38 mm(LVNU 5 A U 5 A対物レンズ変換器とLV-S 32 3 x 2ステージ/LV-S 64 6 x 4ステージを併用した場合) *73 mm支柱1本と併用時 12 V 50 W内部電源、調光、粗調調マイクロつまみ用 左:粗微調整/右:微調整、40 mmストローク 粗調整:14 mm/回転(トルク調整、リフォーカス機構付き)微調整:0.1 mm/回転(1μm/目盛) ステージ取付穴ピッチ:70 x 94(4-M 4ネジ固定) |
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| 対物レンズ変換器: | C-N 6 ESD 6倍対物レンズ変換器ESD LV-NU 5汎用五孔対物レンズ変換器ESD LV-NBD 5 BD五孔対物レンズ変換器ESD LV-NU 5 Iインテリジェント万能五芯対物レンズ変換器ESD |
LV-NU 5 A電動汎用五孔対物レンズ変換器ESD LV-NU 5 AC電動汎用五孔対物レンズ変換器ESD |
| 反射照明器: |
LV-UEPI-N LV-LH 50 PC 12 V 50 Wプリセット中灯箱、LV-LL LED灯箱 明/暗視野スイッチとリンク開口絞り(中央)、視野絞り(中央) プラセオジム25 mmフィルタ(NCB 11、ND 16、ND 4)、偏光器/分析器、λ板、励起光等化器を受容する、ノイズターミネータ搭載 LV-UEPI2 LV-LH 50 PC 12 V 50 Wフロントライトボックス、LV-LL LEDライトボックス HGプリペアファイバライザ:C-HGFIE(調光付き)*オプション 蛍光LED光源D-LEDI(調光(PC制御可能)*LV 150 Nのみ) 明/暗視野スイッチとリンク開口絞り(中央)、視野絞り(中央)、 明視野、暗視野、および落射蛍光スイッチに合わせた自動光学素子切替機能 プラセオジム25 mmフィルタ(NCB 11、ND 16、ND 4)、偏光器/分析器、λ板、励起光等化器を受容する、ノイズターミネータ搭載 |
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| 接眼鏡筒: |
LV-TI3型trinocularの眼鏡管ESD(立ち上げられた画像、FOV:22/25) LV-TT2型傾斜三眼鏡筒(垂直画像、FOV:22/25) C-TB両眼鏡筒(逆さま画像、FOV:22) P-TB両眼鏡筒(逆さま画像、FOV:22) P-TT 2三眼鏡筒(逆さま画像、FOV:22) |
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| ステージ: |
LV-S32型3 x 2ステージ(ストローク:75 x 50 mm、ガラス板付き)ESDcompatible LV-S64型6x4段階(ストローク:ガラスプレート付き150 x 100mm)ESD互換性 LV-S6型6x6段階(ストローク:150 x 150 mm)ESD互換性 |
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| 接眼レンズ: | CFI接眼レンズシリーズ | |
| 対物レンズ: | 工業顕微鏡CFI 60-2/CFI 60光学系対物レンズシリーズ:観察方法による組合せ | |
| ESD 性能: | 1000 ~ 10 V、0.2秒以内。(一部の部品を除く) エネルギー消費量: 1.2A/75W |
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| 重量: | 約8.6 kg | 約8.7 kg |
