ブランド：GATAN名称型式：MonoCL 4次世代陰極発光システム

メーカー：GATAN社ディーラー：欧波同有限公司

モデル450

Monarc™—SEM（走査電子顕微鏡）上の陰極蛍光（CL）キャラクタリゼーションの能力を再定義した。

画期的な光路設計により、Monarkは感度とスペクトル分解能を大幅に増加させ、それにより特色のある波長-角度分解能をもたらし、より完全な陰極蛍光（CL）キャラクタリゼーション分析を行うことができます。Monarcは、次世代のCL検出器として、要求の高いナノフォトニクス（nanophotonics）、オプトエレクトロニクス（optoelectronics）、地質科学などの応用分野に新たな知見をもたらした

パフォーマンスの利点：

高品質データを迅速に取得するには：

•優れた空間分解能（<10 nm=""1=""br="”>（0.1 nm）でCLデータを収集する

•角度と波長の分解能を併せ持つCLデータの収集

•先代技術と比較して、最大30倍の高速度でハイパースペクトルを収集
（hyperspectral）データ

操作が簡単：

•完全自動の光路アライメントとフォーミュラ駆動に基づく操作により、最適化された結果

•恒常的に整列された光路は、短期的かつ長期的な作業に対して繰り返し可能な結果をもたらす

•大視野でデータ収集スループットを向上させ、ユーザーのワークフローをシンプル化

他の信号との正確な関連付け：

•複数の信号を同時に検出し、物理的性質または成分情報とCLデータを関連付けて画像化する

•妥協不要：CL測定と同時にSEMを活用したin-lensプローブ

図1.この振幅偏光フィルタリングされたCL画像は、Monarkが10 nmよりも空間分解能の優れたCLデータを提供できることを証明している。画像は100 nm前後の大きさの星状金ナノ粒子の2組の直交線形偏光発光の色重畳から来ている。

特徴：

•角度分解（angle-resolved CL，ARCL）：光学回折ji限界をはるかに下回るスケールで光と物質の相互作用を理解する：先代技術と比較して、400 xはより視野が広く、実際の分解能損失は発生しない（特許出願中）

•波長-角度分解（wavelength-and angle-resolved CL、WARCL）：多重観察角度と波長を越えて、光と物質の相互作用を可視化する：光路設計のおかげで、以前はできなかった、または非常に実現しにくい特徴付け手段は、Monarkで通常の仕事となっている

•偏光フィルタリング：例えば光帯域がナノアンテナ、フォトニック結晶などの深さサブ波長構造を担う発光偏光性能を知る

応用分野：

•光電材料の開発

•LEDとレーザー失効解析

•表示と照明

•光−物質相互作用の基礎研究

•ナノフォトニクス

•フォトニック結晶

•地質科学-微量元素分布

•光起電力材料の特性評価

•蛍光技術

Monarcには2つの異なるモデルが搭載されており、異なるアプリケーションニーズに対応しています。

モナーク
地質科学と面分布イメージングの応用に適しており、Monarkモデルはスペクトル分解能の影響を受けないより大きな視野を持っており、その斬新な波長フィルタリングスペクトルイメージング能力を通じて、より高い空間サンプリングの超スペクトルデータ収集を提供し、性能は先代技術に基づくSEM CL検出器を大幅に上回っている。

モナーク プロ
ナノフォトニクスと光電子材料の応用には、Monarc Proはより高い感度とスペクトル分解能を提供するため、より適している。特有の波長−角度分解分析能力と偏光フィルタリングオプションを備えている。

図2.V−pit欠陥を含むGaN／InGaN多重量サブウェル試料をMonarkを用いて採取した複合波長フィルタ像は、超分光データブロック（赤色＝504±2 nm、緑色＝435±2 nm、紫色＝365±2 nm）から抽出された。

図3.Monark特有の波長−角度分解スペクトルモードを用いて、薄膜InGaN系LEDの発光性能をほぼ完全に特性化した。発光光と反射光との間の相互干渉は、発光波長に応じて変化する発光パターンを形成する。