単結晶シリコンオーブン概念
単結晶シリコンオーブンは主に単結晶シリコンと多結晶シリコン洗浄後のベーキング、乾燥におけるプロセス処理に用いられる。

単結晶シリコンオーブンの特徴
1、本シリーズの単結晶シリコンオーブンは主に単結晶シリコンと多結晶シリコン洗浄後のベーキング、乾燥方面のプロセス処理に用いられる。
2、本シリーズのオーブンはデジタル温度調節器を用いて温度制御を行い、温度制御が敏感で、操作が簡便で、性能が信頼でき、数字は直接動作温度を示し、直感的で読みやすい。
3、作業室の温度は室温から250℃の間で任意の恒温にすることができ、自動的に電源を切り、設備や製品を保護することができます。
4、この設備は超温警報、恒温計時機能を有する。

動作原理
1、単結晶シリコンオーブン箱体の構造：設計が完璧で、箱体はデジタル制御工作機械を用いて加工成形し、箱ドアは双開式を採用し、操作が容易である。内胆はSUS 304ステンレス板を採用し、外殻はA 3板の射出成形処理であり、より光沢があり、美しい。回路システム側はドア式オープンを採用し、メンテナンスと点検を容易にする。箱ドアの閉締まりは調節でき、全体的に成形されたシリコンゴムドア封輪は、オーブンの密閉性を確保する。
2、単結晶シリコンオーブン制御実行システム：温度コントローラはタッチボタン、デジタルLED表示、PID知能制御計器を採用する、Pt 100白金抵抗温度測定センサ、
3、単結晶シリコンオーブン保護システム：機械全体保護システムは超温保護及び警報装置から構成される。実行部品及び試験部品の完全性を保証した。