プリズマ &プリズマ EX多機能環境真空タングステンフィラメント分析走査電子顕微鏡

• 真に多目的実験室用の性能が全面的で、操作しやすいSEMタングステンフィラメント走査電子顕微鏡
• 独自のESEM™環境真空モード
• 高真空、低真空、ESEM™環境真空の3種類の真空モードは、最も広範なサンプルの分析に適しており、サンプル範囲は導電材料、非導電材料、脱気、無めっき膜またはその他の真空に適さないサンプルを含む。
• 一連の統合されたリアルタイム分析ソフトウェアは、動的な実験検出分析を完了する。
• 低真空およびESEM環境真空は、非導電性材料および税込みサンプルの検出分析を満たすことができる
• その場機能により、絶縁性または高温のサンプルでも信頼性の高い分析結果を得ることができます。
• スキャン前の事前設定をサポートし、ナビゲーションとSmartScanTM機能を備えたカメラは、作業効率、データ品質、より高い要件を満たすための使用要件を向上させる。
• -165°C to 1400°C温度範囲におけるその場解析
• 加速電圧：200 V-30 kV
• 電子増幅率：6 x-1000000 x（4枚の画像を同時に収集して表示することができる）
• 検出器：高真空モードEverhart-Thomley二次電子検出器（E-T SED）、低真空SE検出器（LVD）、ESEM環境真空モードガス二次電子検出器（GESD）、サンプル室赤外線CCDカメラ
• 真空システム：250 L/sターボ分子ポンプ1個、回転機械ポンプ1個、特許の「レンズを通す」圧力差真空システム、排気時間≦3.5 minから高真空まで、≦4.5 minからESEM真空/低真空まで、CryoCleanerコールドトラップを選択可能、オイルフリーローリング/ドライPVPsへのアップグレードオプション
• サンプル室：

o内径340 mm

o分析動作距離10 mm

o 12個の付属品インタフェース

o EDS採取角：35°

• 解像度:

高真空模式

• 3.0 nm @ 30 kV（SE）
• 4.0 nm @ 30 kV（BSE）*
• 8.0 nm @ 3 kV（SE）

高真空下減速モード

• 7.0 nm @ 3 kV

低真空モード

• 3.0 nm @ 30 kV（SE）
• 4.0 nm @ 30 kV（BSE）
• 10 nm @ 3 kV（SE）

• ESEM環境真空
  • 3.0 nm @ 30 kV（SE）