EPMA-1720型島津電子プローブ

電子プローブ（EPMA）は、極細の電子ビームを用いてサンプル表面に照射して特徴X線を発生させ、特徴X線に対して分光と強度測定を行い、微小領域の元素組成及びサンプル表面元素濃度分布を得る分析装置である。島津電子プローブは、非破壊で高精度な分析を行い、他の機器には提供できない情報を提供することができるため、大学や国家レベルの実験室で多く使用され、最初の金属・半導体材料の分野から、微粒子・鉱物・触媒・生体組織の分析に徐々に拡大している。電子プローブの分析能力の優位性を考慮して、ハイエンドモデルに対する市場の需要も年々増加している。

特徴：

♦優れた空間解像度

電子プローブが達成できる最高レベルの二次電子画像分解能3 nm（加速電圧30 kV）、分析条件下でNo.1の二次電子分解能。

（加速電圧10 kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

♦ 大ビーム流超高感度解析

3.0μA（加速電圧30 kV）の最大ビームフローを実現した。超高感度で超微量元素の面解析を行うことができる。また、全ビームフロー範囲は対物レンズ絞りを交換する必要がない。

♦高性能X線分光計

島津電子プローブの優れた52.5°X線取り出し角を受け継ぐ。4インチのローランド円半径を用いた分光結晶は、高感度と高分解能を両立している。5チャンネル高性能X線スペクトル計を同時に搭載できる。分析性能がさらに優れている。

♦ すべての分析操作が簡単でわかりやすい

すべての操作がマウス1つで行える先進的な操作性。わかりやすい人間性を追求したユーザーインタフェース。ナビゲーションモードを搭載し、レポートが生成されるまで自動的にガイドします。