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製品の詳細
シリカ研磨液：
当社は自主開発生産した高純度シリカ研磨剤を基礎としてシリコンウェハ粗研磨用研磨液を開発し、この研磨液は希釈比が高く、研磨後の表面は洗浄しやすい。製品は様々な業界に広く応用されている。
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検査項目 |
検出方法 |
指標値 |
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外観 |
目視 |
乳白色液体 |
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固形分（%） |
じゅうりょうほう |
40±2 |
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pH値（20℃） |
pH計 |
11.5-12.5 |
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粒子径（nm） |
レーザ粒度分析器 |
80±10 |
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大粒子数（parts/ml） |
だいりゅうしけいすうき |
﹤1000000 |
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