小型真空熱プレスは温度制御範囲を高め、温度制御設置プログラムをアップグレードし、ガラス、シリコンウエハ、ウエハ、サファイア、石英などの基材の中低高温結合に用い、シリコン基熱圧着加工専用設備である。真空熱圧着機は、異なるガスを通過する中低高温結合を満たすことができるだけでなく、真空環境下での中低温焼鈍を満たすことができる、その中で、高低温結合と中低温アニーリング過程における温度は柔軟に設定し、プログラミングすることができる、結合圧力は、レンジ内でも任意にプログラム可能な設定と制御が可能である。

小型真空熱プレス画像

粉末冶金の重要な設備であり、ベリリウム、チタン、アルミニウム合金、コバルトとニッケル基合金、タングステン、モリブデン及び特殊合金鋼などを焼結するために用いられる。

真空熱プレスは密封空洞、真空引き、熱圧、電気制御、窒素充填、水冷などから構成され、四柱構造を採用し、導柱は高周波真空焼入れ処理を採用することで引張抵抗、耐摩耗の効果を達成することができる。ガイドスリーブは高温直線軸受ガイドスリーブを用いてガイドし、下圧平穏発熱板は真空調質処理を経て、表面めっき処理は長期にわたって使用して変形せず、錆びない。発熱管はステンレス電熱フィラメント埋設鋳造式を採用し、酸化せず、耐衝撃性があり、安全で信頼性があり、昇温が迅速で、使用寿命が長いなどの利点がある。

真空熱プレス炉の特徴紹介：

1、本機は密封キャビティ、真空引き、熱圧、電気制御、窒素充填、水冷などから構成され、四柱構造を採用し、導柱は高周波真空焼入れ処理を採用することで引張抵抗、耐摩耗の効果を達成することができる。ガイドスリーブは高温直線軸受ガイドスリーブをガイドとし、下圧は滑らかで安定している。

2、上下熱圧板の温度は独立に350度を制御することができ、温度が安定し、熱板の急速な上昇を保証するだけでなく、電気エネルギーを節約した。

3、電気加熱はPID温度指示調節器を用いて熱板温度を制御、表示し、温度制御精度が高く、温度表示が直感的で、調節が便利である。恒温制御加熱技術を用いて、温度制御が正確である。

4、アルミニウム合金の作業プラットフォーム、上下面が平らで、熱伝導速度が速く、熱伝導平均発熱板は真空調質処理を経ている。発熱管はステンレス電熱フィラメント埋設鋳造式を採用し、酸化せず、耐衝撃性があり、安全で信頼性があり、昇温が迅速で、使用寿命が長いなどの利点がある。

5、フロントドアに光学強化ガラスドアの観察窓、ガラス窓は箱ドアの中部に取り付けられ、内部試験品の試験過程での変化をはっきりと観察することができる。

6、電気制御PLC制御一体機は、保圧時間を制御でき、多種製品に必要なプレス時間要求に適用できる。

7、精密調圧弁を用いて調圧し、補圧し、圧力は正確に調整でき、圧力の大きさを設定でき、製品の品質安定性を保証し、シリンダ下圧速度は手動で調整し、異なる材料に対して異なる速度圧力制御を選択する。

8、ドアとドアフレームの間にシール材と独特のシリコンゴムシール構造を採用し、シール、老化防止を行う。

9、加熱面積が大きく、加熱板は顧客の要求に応じて注文することができ、常用サイズのチップをカバーする。

10、窒素充填電磁スイッチ制御、窒素充填雰囲気保護、無酸化を達成する。

11、下加熱板に水冷板を1セット加えると、水冷システムは高温を維持して長時間動作し、温度は急速に冷却し、真空コロイドが過熱せずに連続動作することを保証する。

12、独特の真空熱プレスシステムを採用し、チップが損傷しないことを保証する下で結合を大幅に向上させる。

13、操作台と加圧設備が一体化し、操作が便利で、構造がコンパクトで美しい。

複合材料真空熱プレス法パラメータ

結合プラットフォーム：230×200（縦×幅）mm、

プラットフォーム平行度：0.05 mm、

ボンディング可能チップの厚さ：0 ~ 140 mm、

定格電圧：AC 220 V/50 HZ、

圧力範囲：0 ~ 3.5 KN、

圧力表示精度：±0.1 KN

定格出力：1.4 KW、

温度制御範囲：室温~ 300℃、

温度制御精度：±1%（100℃以下±1℃）、

上下板の最大温度差：3℃、

均一昇温速度：4℃/min（100℃以下）、3℃/min(100℃~200℃);2℃/min（200℃以上）、急速昇温速度：10℃/min

サポート温度プログラミングセグメント数：10セグメント温度制御、

真空度：KPaレベル

外接雰囲気インタフェース：2×DN 10

外形寸法：420×260×610（長さ×幅×高さ）mm、

重量：120 kg、