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ターボ分子ポンプHiPace 80
ターボ分子ポンプHiPace 80
製品の詳細

Pfeifferターボ分子ポンプHiPace 80
上海伯東ドイツ普発ターボ分子ポンプPfeiffer HiPace 80は71 l/sの高性能を引き出すことができるターボ分子ポンプ・HiPace 80の全ガスに対する高抽気速度と極高圧縮比は真空業界に広く応用されている。産業環境に適する集積駆動回路である、保護レベルIP 54、半導体S 2、UL/CSAにより認証される.コントローラモニタによる演算データ保証ぶんしポンプの最高安全性を実現します。ターボ分子ポンプHiPace 80は、任意の位置に取り付けることができる.自然空冷、多種の部品は広範な応用を満たすことができる。

ターボ分子ポンプHiPace 80技術パラメータ

分子ポンプモデル

インタフェースDN

抽気速度l/s

あっしゅくひ

最高起動圧力mbar

きょくげんあつりょく

全回転数ガス流量hPal/s

起動時間

じゅうりょう

くうきいりぐち

はいきぐち

ちっそガス
N2

ヘリウムHe

水素ガス2

ちっそガス
N2

窒素ガスN2

hPa

窒素ガスN2

min

kg

HiPace 80

63

16

67

58

48

> 1X1011

22

< 1X10–7

1.3

1.75

2.4


Pfeifferターボ分子ポンプHiPace 80入門キット:
このモデルでは、HiPace 80分子ポンプ本体1台と制御電源などを含む完全なセットを提供し、分子ポンプセットを選択して基本的な応用を満たし、すべての場合に設置し、簡単にターボ分子ポンプを調整することができます。スイート内の構成は次のとおりです。

Pfeiffer DCU 110

DCU 110,電源を含む表示制御ユニット
電力供給、点検、操作に使用
統合電源装置付き
HiPace 10/60 P、HiPace 80、SplitFlow 50/80に適用
Pfeiffer真空ゲージActiveLineシリーズ接続

>>クリックして中国語の資料をダウンロードします

RS-485 pfeiffer

分子ポンプ電源とコントローラの接続線

>>クリックして中国語の資料をダウンロードします

air cooling pfeiffer

ふうれい
分子ポンプHiPace 60 P、HiPace 80、SplitFlow 50/80に適しています(TC 110/120構成)
制御電圧24 V DC
電子駆動ユニットTC 110/120、TCP 350
電気接続M 8


分子ポンプ応用HiPace 80
分析機器:電子顕微鏡、漏れ検出、小型質量分析、表面分析、残留ガス分析
半導体:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks
工業:医学技術、工業検査漏れ、隔離真空、ランプ製造
研究開発:核研究、プラズマ研究、粒子加速器、冷凍研究、ナノテクノロジー、バイオテクノロジー

上海伯東顧客分子ポンプ応用一:HiPace 80、HiPace 400は分子ビームエピタクシーMBEに用いられ、主に金属薄膜及び材料デバイスの酸化物エピタキシャル成長に用いられる。
伯东普发分子泵 Hipace 80
上海伯東顧客分子ポンプ応用二:HiPace 80、HiPace 300はSPECS近常圧光電子分光装置用
伯东普发分子泵 Hipace 80
上海伯東顧客分子ポンプ応用三:HiPace 80、HiPace 300は真空チャンバを自主的に構築するために使用される
伯东普发分子泵 Hipace 80

分子ポンプのポンプ速度HiPace 80 異なるガスの吸引速度:


ターボ分子ポンプHiPace 80 寸法図:

ターボ分子ポンプHiPace 80現在販売されているモデル:
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 40 ISO-KF

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上海伯東Pfeifferターボ分子ポンプ抽気速度範囲は10〜2700 L/S、回転速度は最高90000 rpm、限界真空は最大1 E−11 mbarであり、小分子ガスに対してより高い圧縮比を有し、実践によりPfeifferターボ分子ポンプ運行時間は100000時間に達することができます!普発分子ポンプ複合軸受を提供するぶんしポンプおよび5軸全磁気浮上ぶんしポンプ二大シリーズは異なる応用を満たし、組み合わせを推薦するPfeifferロータポンプかんそうポンプ共同使用分子ポンプの典型的な応用を推薦する>>

詳細については、ぶんしポンプ詳細は、以下の連絡先を参照してください
上海伯東:葉さん台湾伯東:王さん
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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